Cảm biến áp suất wika model WU-20, WU-25, WU-26

Mô tả

Ứng dụng cảm biến áp suất wika model WU-20, WU-25, WU-26

• Tấm khí cho các công cụ OEM
• Ngành công nghiệp bán dẫn, màn hình phẳng và quang điện
• Cung cấp khí đốt đặc biệt và số lượng lớn

Các tính năng đặc biệt của cảm biến áp suất wika model WU-20, WU-25, WU-26

• Đo áp suất chính xác cao 0,15% RSS
• Tính ổn định lâu dài tuyệt vời
• Che chắn và loại bỏ tiếng ồn tín hiệu
• Bù nhiệt độ chủ động
• Phê duyệt ATEX và IECEx vùng 2
• Lớp FM tôi div. 2 nhóm A, B, C & D

Mô tả cảm biến áp suất wika model WU-20, WU-25, WU-26

• Đáng tin cậy Dòng WU-2x kết hợp đầu dò kỹ thuật số hiện đại các khái niệm với tín hiệu đầu ra tương tự như tín hiệu tương tự, để cung cấp các phép đo áp suất an toàn và chính xác nhất cần thiết cho các yêu cầu của thị trường ngày nay. Đo áp suất, dựa trên tham chiếu chân không thực, và các biện pháp điện tử để che chắn nhiễu và khử nhiễu tín hiệu đảm bảo áp suất chính xác cao đo lường và độ ổn định lâu dài tuyệt vời. Bù nhiệt độ chủ động làm giảm tác động của thay đổi nhiệt độ trên đầu dò, cho phép an toàn hoạt động ngay cả trong các ứng dụng có biến động cao trong nhiệt độ, ví dụ Hiệu ứng Joule-Thomson trong trường hợp khí
• Sự bành trướng. WU-25 (chảy qua) và WU-26 (gắn trên bề mặt) đầu dò được thiết kế đặc biệt để duy trì các ứng suất xoắn thường phát sinh trong quá trình lắp đặt. Các thiết kế đặc biệt của cảm biến màng mỏng loại bỏ nguy cơ lỗi cảm biến do tải tại kết nối quy trình hoặc mối nối hàn.
• Linh hoạt Đầu dò WU-2x có thể được lắp đặt dễ dàng trong nhà hoặc hệ thống ngoài trời cũng như trong môi trường không dễ cháy hoặc có khả năng khu vực dễ cháy. Thiết kế kín đáo của WU-2x ngăn chặn sự xâm nhập của độ ẩm. Phê duyệt không bắt lửa và có khả năng cháy môi trường đảm bảo mức độ an toàn cao của sản phẩm. Dụng cụ cho nhiệt độ lớp T6 đáp ứng cao yêu cầu về nhiệt độ bắt lửa tự phát, thấp môi trường (phosphine (PH3) và silan (SiH4)).
• Gọn nhẹ Với kích thước nhỏ gọn, WU-2x là thiết bị nhỏ gọn nhất Đầu dò UHP trên thị trường. Vì vậy, nó phù hợp tối ưu cho cài đặt trong các ứng dụng có không gian lắp đặt hạn chế và ngay cả trong các nhà máy hiện có nó có thể được trang bị thêm một cách dễ dàng.

Thông số kỷ thuật của cảm biến áp suất wika model WU-20, WU-25, WU-26

• Dải đo (psi) 30 60 100 160 250 350 500 1.000 1.500 2.000 3.000 5.000 Dải đo (vạch) 2 4 7 11 17 25 36 70 100 145 225 360 An toàn quá tải (psi) 120 120 210 320 500 750 1.100 2.100 3.000 4.200 6.600 10.000 Áp suất nổ (psi) 1.800 1.800 2.200 2.200 4.800 6.200 7.400 8.000 10.500 10.500 10.500 10.500 Các phạm vi đo lường khác theo yêu cầu Nguyên tắc đo Cảm biến màng mỏng Nguyên vật liệu
• Các bộ phận được làm ướt Kết nối quy trình: Thép không gỉ 316L, theo SEMI F20 (tùy chọn: 316L VIM / VAR) Cảm biến màng mỏng: 2.4711 / UNS R30003
• Vỏ 304 SS Kiểm tra rò rỉ Heli <1 x 10-9 mbar l / giây (atm STD cc / giây) trên SEMI F1 Xử lý bề mặt Được đánh bóng bằng điện, Ra điển hình ≤ 0,13 µm (RA 5); tối đa Ra ≤ 0,18 µm (RA 7) trên mỗi SEMI F19 Thể tích chết WU-20 <1,5 cm³, WU-25 <1 cm³, WU-26 <1 cm³ Môi trường cho phép Khí đặc biệt, hơi, chất lỏng Nguồn điện U + DC 10 … 30 V với tín hiệu đầu ra DC 0 … 5 V / 4 … 20 mA DC 14 … 30 V với tín hiệu đầu ra DC 0 … 10 V
• Tín hiệu đầu ra và cho phép tối đa tải RA bằng Ω 4 … 20 mA, 2 dây, RA ≤ (U + – 10 V) / 0,02 A DC 0 … 5 V, 3 dây, RA> 5 kΩ DC 0 … 10 V, 3 dây, RA> 10 kΩ
• Công suất Pmax 1 W Khả năng điều chỉnh điểm 0 -3,5 … +3,5% nhịp (thông qua chiết áp), đầu ra hiện tại -2 … +3,5% nhịp (thông qua chiết áp), đầu ra điện áp Thời gian đáp ứng (10 … 90%) ≤ 300 ms Điện áp cách điện DC 500 V Độ chính xác ≤ 0,15% nhịp (≤ 0,4% nhịp với dải đo ≤ 2 vạch) RSS (bình phương tổng căn) ≤ 0,3% nhịp 1) (≤ 0,6% nhịp 1) với dải đo ≤ 2 bar) theo IEC 61298-2 Độ không tuyến tính ≤ 0,1% khoảng (≤ 0,15% khoảng cho dải đo ≤ 2 bar) (BFSL) theo IEC 61298-2 Độ trễ ≤ 0,14% của nhịp
• Độ không lặp lại ≤ 0,12% của nhịp
• Độ ổn định mỗi năm ≤ 0,25% nhịp (điển hình), ở điều kiện tham chiếu (≤ 0,4% nhịp với dải đo ≤ 2 bar)
• Dải nhiệt độ cho phép không Ex T4 T5 T6
• Trung bình -20 … +100 ° C -4 … +212 ° F -20 … +85 ° C -4 … +185 ° F -20 … +60 ° C -4 … +140 ° F -20 … + 40 ° C -4 … +104 ° F
• Môi trường xung quanh -20 … +85 ° C -4 … +185 ° F -20 … +85 ° C -4 … +185 ° F -20 … +60 ° C -4 … +140 ° F -20 … +40 ° C -4 … +104 ° F
• Bảo quản -40 … +100 ° C -40 … +212 ° F -40 … +100 ° C -40 … +212 ° F -40 … +100 ° C -40 … +212 ° F -40 … +100 ° C -40 … +212 ° F Dải nhiệt độ định mức -20 … +80 ° C, -4 … +176 ° F (được bù tích cực) Hệ số nhiệt độ trong phạm vi nhiệt độ định mức (tích cực bù) TC trung bình không ≤ 0,1% nhịp / 10 K TC trung bình của nhịp ≤ 0,15% nhịp / 10 K Khu vực lắp ráp và đóng gói Phòng sạch loại 5 theo tiêu chuẩn ISO 14644 Đóng gói Bao bì kép cho mỗi SEMI E49,6 Khả năng chống va đập 500 g (1,5 ms) theo tiêu chuẩn IEC 60068-2-27 Khả năng chống rung 0,35 mm (10 … 58 Hz) / 5 g (58,1 … 2.000 Hz) theo IEC 60068-2-6 Ngắn mạch S + so với U- (thời gian ngắn) Phân cực ngược U + so với UWeight Xấp xỉ. 0,1 kg